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等离子体反应器
Abstract:
一种等离子体反应器(10),其包括具有气体入口(18)和气体出口(20)的微波共振腔(12),用于将微波辐射传送到共振腔的波导(14),和用于将包含离子的等离子体物流注入到共振腔的等离子体炬(40),所述离子用于与从气体入口(18)流到气体出口(20)的气体反应。
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