Invention Grant
CN101297062B 等离子体反应器
失效 - 权利终止
- Patent Title: 等离子体反应器
- Patent Title (English): Plasma reactor
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Application No.: CN200680039949.6Application Date: 2006-09-26
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Publication No.: CN101297062BPublication Date: 2011-04-27
- Inventor: A·J·西利 , M·拉多伊乌
- Applicant: 爱德华兹有限公司
- Applicant Address: 英国西萨塞克斯郡
- Assignee: 爱德华兹有限公司
- Current Assignee: 爱德华兹有限公司
- Current Assignee Address: 英国西萨塞克斯郡
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 庞立志; 韦欣华
- Priority: 0521830.0 2005.10.26 GB
- International Application: PCT/GB2006/003578 2006.09.26
- International Announcement: WO2007/048994 EN 2007.05.03
- Date entered country: 2008-04-25
- Main IPC: C23C16/44
- IPC: C23C16/44 ; C23C16/56 ; B01D53/00
Abstract:
一种等离子体反应器(10),其包括具有气体入口(18)和气体出口(20)的微波共振腔(12),用于将微波辐射传送到共振腔的波导(14),和用于将包含离子的等离子体物流注入到共振腔的等离子体炬(40),所述离子用于与从气体入口(18)流到气体出口(20)的气体反应。
Public/Granted literature
- CN101297062A 等离子体反应器 Public/Granted day:2008-10-29
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IPC分类: