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直拉式单晶生长炉
摘要:
为减少直拉式单晶生长炉的氩气消耗的技术问题,本发明提供了一种直拉式单晶生长炉,其包括:氩气输入管、与氩气输入管相连通的环形气体分布器;其特征在于:经氩气输入管输入的氩气气压为0.8×103Pa至0.9×103Pa,氩气流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置;其包括:中轴孔、一对电极孔、以及与排气口相对的通气孔;石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔,所述电极柱分别穿过所述电极孔,排气口与气流导向装置的各通气孔相连通,气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。
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