Invention Grant
CN101325210B 磁性传感器及其制作方法
失效 - 权利终止
- Patent Title: 磁性传感器及其制作方法
- Patent Title (English): Magnetic sensor and production method thereof
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Application No.: CN200810125458.4Application Date: 2008-06-13
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Publication No.: CN101325210BPublication Date: 2010-11-24
- Inventor: 安住纯一 , 高太好 , 布施晃广
- Applicant: 株式会社理光
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 株式会社理光
- Current Assignee: 株式会社理光
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京市柳沈律师事务所
- Agent 王冉
- Priority: 156423/07 2007.06.13 JP; 108061/08 2008.04.17 JP
- Main IPC: H01L27/22
- IPC: H01L27/22 ; H01L21/82 ; H01L21/822 ; G01R33/09
Abstract:
本发明公开了一种磁性传感器及其制作方法。该磁性传感器同时具有多个轴,能够通过少量的步骤来制作。该磁性传感器包括:基板;以及多个传感器电桥电路,该多个传感器电桥电路的每一个包括布置在该基板上的磁场探测器对和固定电阻器对,该磁场探测器对和该固定电阻器对连接以形成电桥电路,该磁场探测器的每一个是由磁致电阻效应元件形成,且该磁场探测器的磁化方向按三维方式彼此相交。该基板具有多个倾斜表面,该倾斜表面的法线方向按三维方式彼此相交,且该传感器电桥电路的每一个中的该磁场探测器对布置在同一倾斜表面上。
Public/Granted literature
- CN101325210A 磁性传感器及其制作方法 Public/Granted day:2008-12-17
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IPC分类: