- 专利标题： 用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃
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申请号： CN200810098675.9申请日： 2008-06-06
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公开(公告)号： CN101333069B公开(公告)日： 2014-10-29
- 发明人: 每田繁 , 大塚久利
- 申请人： 信越化学工业株式会社
- 申请人地址： 日本东京
- 专利权人： 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人： 信越化学工业株式会社
- 当前专利权人地址： 日本东京
- 代理机构： 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所
- 代理商 李帆
- 优先权： 2007-150534 2007.06.06 JP
- 主分类号： C03C3/06
- IPC分类号： C03C3/06 ; C03C3/078 ; G03F7/00
摘要：
本发明涉及用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃。在所述纳米压印光刻法中，该石英玻璃在0℃和250℃之间具有-300～300ppb/℃的CTE和25℃下最高为100ppb/℃的CTE分布，适合用作纳米压印模具。
公开/授权文献
- CN101333069A 用于纳米压印模具的掺杂二氧化钛的石英玻璃 公开/授权日：2008-12-31
