喷射设备和通过使用测量气流的流量传感器改进喷射设备的性能的方法
Abstract:
用于将粘性介质的液滴喷射到基板上的喷射设备(15)和改进所述喷射设备的性能的方法。所述喷射设备(15)包括:喷射出口(27),所述液滴通过所述喷射出口喷射;气流发生器,所述气流发生器用于产生通过所述喷射出口以用于移除所述喷射出口(27)处的粘性介质残余的气流;接收器(55),所述接收器用于接收由所述气流从所述喷射出口(27)输送走的粘性介质残余;以及,流动通路(58),其用于在所述喷射出口(27)和所述气流发生器之间的经由所述接收器的所述气流。流量传感器(70)设置在流动通路(58)中用于测量气流。获得表示气流的气流量信号,评估所述气流量信号用于确定喷射设备(15)的至少一个状态,并提供这些状态的指示。
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