超分辨复色差动共焦测量装置及方法
Abstract:
本发明公开了一种超分辨复色差动共焦测量方法,其包括:提供第一差动共焦测量装置,提供一平行平板修正色差超分辨测头,提供一计算机装置,以及,精确修正超分辨滤波器平板基底厚度,实现两光束聚焦平面位置调节,从而保证两焦平面的位置差恰好等于第一差动共焦测量装置的线性测量区一半与第二差动共焦测量装置线性测量区一半之和。本发明还提供了一种超分辨复色差动共焦测量装置,本发明的超分辨复色差动共焦测量方法及装置的有益效果在于,在保留已公开的复色超分辨差动共焦测量技术具有两个独立的双极性跟踪线性区间,轴向响应量程大,能抑制共模干扰的技术优点前提下,提高系统横向分辨力。
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