发明授权
- 专利标题: 使用牺牲互连部分的芯片上的互连叠层冷却
- 专利标题(英): On-chip interconnect-stack cooling using sacrificial interconnect segments
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申请号: CN200680048773.0申请日: 2006-12-19
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公开(公告)号: CN101366115B公开(公告)日: 2011-04-13
- 发明人: 劳伦·高塞特 , 文森特·阿纳勒
- 申请人: NXP股份有限公司
- 申请人地址: 荷兰艾恩德霍芬
- 专利权人: NXP股份有限公司
- 当前专利权人: NXP股份有限公司,申请人
- 当前专利权人地址: 荷兰艾恩德霍芬
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 朱进桂
- 优先权: 05301103.7 2005.12.23 EP
- 国际申请: PCT/EP2006/069910 2006.12.19
- 国际公布: WO2007/071674 EN 2007.06.28
- 进入国家日期: 2008-06-23
- 主分类号: H01L23/473
- IPC分类号: H01L23/473
摘要:
本发明涉及一种集成电路器件和用于制造具有集成流体-冷却槽的集成电路器件的方法。该方法包括在电互连部分的期望侧向位置处和在流体冷却槽部件的期望侧向位置处,在介电层序列中形成凹陷。金属填充物被淀积在介电层序列的凹陷中,以在流体冷却槽部分中形成电互连部分和牺牲填充物。然后,该牺牲金属填充物从流体冷却槽部件选择性地被去除。
公开/授权文献
- CN101366115A 使用牺牲互连部分的芯片上的互连叠层冷却 公开/授权日:2009-02-11
IPC分类: