发明授权
CN101383300B 电子元件的晶圆级封装及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 电子元件的晶圆级封装及其制造方法
- 专利标题(英): Wafer level package of electronic element and manufacturing method thereof
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申请号: CN200710149800.X申请日: 2007-09-05
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公开(公告)号: CN101383300B公开(公告)日: 2010-07-28
- 发明人: 刘建宏 , 李思典
- 申请人: 精材科技股份有限公司
- 申请人地址: 中国台湾桃园县
- 专利权人: 精材科技股份有限公司
- 当前专利权人: 精材科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 中国台湾桃园县
- 代理机构: 隆天国际知识产权代理有限公司
- 代理商 陈晨
- 主分类号: H01L21/60
- IPC分类号: H01L21/60 ; H01L23/482 ; H01L27/146
摘要:
本发明提供一种电子元件的晶圆级封装及其制造方法。该制造方法包括提供半导体晶圆,该半导体晶圆上包括多个电子元件芯片,所述多个电子元件芯片由层间介电层所覆盖,且至少一接触垫设置于该层间介电层中。提供承载基板;粘结该半导体晶圆与该承载基板,并薄化该半导体晶圆的背面。蚀刻该半导体晶圆的背面形成沟槽。在该半导体晶圆的背面顺应性地沉积绝缘层。除去该沟槽底部的该绝缘层,并除去该沟槽底部的层间介电层,并露出该至少一接触垫的部分表面。在该半导体晶圆的背面顺应性地沉积导电层。并将其图案化后,与该接触垫形成L形连线,以及形成外部导线及焊接凸块。本发明能够改善导线结构与接触垫之间的粘结性与导电性。
公开/授权文献
- CN101383300A 电子元件的晶圆级封装及其制造方法 公开/授权日:2009-03-11
IPC分类: