电子元件的晶圆级封装及其制造方法
摘要:
本发明提供一种电子元件的晶圆级封装及其制造方法。该制造方法包括提供半导体晶圆,该半导体晶圆上包括多个电子元件芯片,所述多个电子元件芯片由层间介电层所覆盖,且至少一接触垫设置于该层间介电层中。提供承载基板;粘结该半导体晶圆与该承载基板,并薄化该半导体晶圆的背面。蚀刻该半导体晶圆的背面形成沟槽。在该半导体晶圆的背面顺应性地沉积绝缘层。除去该沟槽底部的该绝缘层,并除去该沟槽底部的层间介电层,并露出该至少一接触垫的部分表面。在该半导体晶圆的背面顺应性地沉积导电层。并将其图案化后,与该接触垫形成L形连线,以及形成外部导线及焊接凸块。本发明能够改善导线结构与接触垫之间的粘结性与导电性。
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