Invention Grant
- Patent Title: 用于微电子基板的稳定的非水清洁组合物
- Patent Title (English): Stabilized, non-aqueous cleaning compositions for microelectronics substrates
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Application No.: CN200780005662.6Application Date: 2007-01-31
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Publication No.: CN101384694BPublication Date: 2011-03-16
- Inventor: 肖恩·M·凯恩
- Applicant: 安万托特性材料股份有限公司
- Applicant Address: 美国新泽西州
- Assignee: 安万托特性材料股份有限公司
- Current Assignee: 安万托特性材料有限责任公司
- Current Assignee Address: 美国新泽西州
- Agency: 北京市柳沈律师事务所
- Agent 张平元
- Priority: 60/773,463 2006.02.15 US
- International Application: PCT/US2007/002911 2007.01.31
- International Announcement: WO2007/097897 EN 2007.08.30
- Date entered country: 2008-08-15
- Main IPC: C11D7/06
- IPC: C11D7/06 ; C11D7/50 ; C11D7/32 ; C11D7/34 ; G03F7/42 ; H01L21/02
Abstract:
用于清洁微电子设备的非水剥离和清洁组合物，所述组合物具有至少一种有机含硫极性化合物作为剥离溶剂，至少一种无水的强氢氧化物碱源，和至少一种羟基吡啶稳定剂以抑制有害的副反应。
Public/Granted literature
- CN101384694A 用于微电子基板的稳定的非水清洁组合物 Public/Granted day:2009-03-11
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