FPD掩膜版制作设备制作Reticle掩膜版的方法
摘要:
一种用FPD掩膜版制作设备制作Reticle掩膜版的方法包括以下步骤:(1)将Reticle掩膜板设计的图形通过计算机辅助处理转化成Reticle掩膜版曝光设备识别的电子数据文件;(2)通过Reticle掩膜版曝光设备将步骤(1)取得的电子数据文件在Reticle掩膜板原料上进行激光直写光刻操作;(3)将Reticle掩膜板原料进行显影处理;(4)将Reticle掩膜板原料进行蚀刻处理;(5)将Reticle掩膜板从Reticle掩膜板原料上剥离并对其清洗;(6)将Reticle掩膜板保护膜贴合在Reticle掩膜板的表面上。利用FPD掩膜版制作设备制作Reticle掩膜板,投入较低,生产周期较短。
公开/授权文献
0/0