- 专利标题: FPD掩膜版制作设备制作Reticle掩膜版的方法
- 专利标题(英): Reticle mask making method by FPD mask making equipment
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申请号: CN200810217118.4申请日: 2008-10-28
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公开(公告)号: CN101393386B公开(公告)日: 2010-12-01
- 发明人: 熊启龙
- 申请人: 清溢精密光电(深圳)有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号
- 专利权人: 清溢精密光电(深圳)有限公司
- 当前专利权人: 深圳清溢光电股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市高新技术工业区北区松坪山朗山二路8号
- 代理机构: 深圳中一专利商标事务所
- 代理商 张全文
- 主分类号: G03F1/00
- IPC分类号: G03F1/00
摘要:
一种用FPD掩膜版制作设备制作Reticle掩膜版的方法包括以下步骤:(1)将Reticle掩膜板设计的图形通过计算机辅助处理转化成Reticle掩膜版曝光设备识别的电子数据文件;(2)通过Reticle掩膜版曝光设备将步骤(1)取得的电子数据文件在Reticle掩膜板原料上进行激光直写光刻操作;(3)将Reticle掩膜板原料进行显影处理;(4)将Reticle掩膜板原料进行蚀刻处理;(5)将Reticle掩膜板从Reticle掩膜板原料上剥离并对其清洗;(6)将Reticle掩膜板保护膜贴合在Reticle掩膜板的表面上。利用FPD掩膜版制作设备制作Reticle掩膜板,投入较低,生产周期较短。
公开/授权文献
- CN101393386A FPD掩膜版制作设备制作Reticle掩膜版的方法 公开/授权日:2009-03-25