发明公开

靶子布置
摘要:
本发明涉及一种靶子布置,其包括管状承载部件和具有至少一种靶材的空心圆柱靶子,所述靶子包括至少一个一体形成且至少部分地包围所述承载部件的管状段。所述承载部件和所述管状段通过至少两个塑性可变形补偿装置以材料适配性局部地相互连接。本发明还涉及用于制造这种靶子布置的方法以及管状段。
公开/授权文献
0/0