发明公开
- 专利标题: 靶子布置
- 专利标题(英): Target arrangement
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申请号: CN200780007554.2申请日: 2007-02-14
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公开(公告)号: CN101395295A公开(公告)日: 2009-03-25
- 发明人: 格里特·许特尔 , 福尔克·施泰纳特 , 约阿希姆·瓦格纳
- 申请人: GFE弗赖麦特有限公司
- 申请人地址: 德国弗赖贝格
- 专利权人: GFE弗赖麦特有限公司
- 当前专利权人: GFE弗赖麦特有限公司
- 当前专利权人地址: 德国弗赖贝格
- 代理机构: 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司
- 代理商 陈桂香; 武玉琴
- 优先权: 102006009749.1 2006.03.02 DE
- 国际申请: PCT/EP2007/001295 2007.02.14
- 国际公布: WO2007/098858 DE 2007.09.07
- 进入国家日期: 2008-09-02
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34
摘要:
本发明涉及一种靶子布置,其包括管状承载部件和具有至少一种靶材的空心圆柱靶子,所述靶子包括至少一个一体形成且至少部分地包围所述承载部件的管状段。所述承载部件和所述管状段通过至少两个塑性可变形补偿装置以材料适配性局部地相互连接。本发明还涉及用于制造这种靶子布置的方法以及管状段。
公开/授权文献
- CN101395295B 靶子装置 公开/授权日:2012-05-23
IPC分类: