具有可拆卸的阳极组件的离子源
摘要:
一种具有可拆卸的阳极组件(1550)的离子源(1500),该阳极组件可与底部组件(1552)分开,以允许容易地维修阳极组件(1550)的消耗构件。这些消耗件易于拆卸及替换并可以包括气体分配器(1510)、热控制板(1508)、阳极(1512)、以及介于其他构件(1516、1518、1520)之间的一个或多个传热片(1516、1518、1520)。磁极片(1514)及阴极(1540)也可以是阳极组件(1550)的一部分。阳极组件(1550)可以通过磁极片(1514)连接至底部组件(1552)。热控制板(1508)可以具有用于使工作气体从热控制板(1508)的一侧流向另一侧的的口(1598)。热控制板(1508)上的接合表面(1521)可以具有凹口图案,以允许工作气体散布到气体分配器(1510)下面。气体分配器(1510)可以通过多个固定螺钉(1542)安装至阳极组件(1550)中的热控制板(1508)。气体分配器(1510)可以是在一表面中具有沉孔(1548)的圆盘状,以使固定螺钉(1542)的螺母(1544)凹入。可替代地,气体分配器(1510)可以通过离子源(1500)的其他结构或构件夹紧或保持在适当位置。阳极组件(1550)内的消耗构件之间可以插入有传热片(1516、1518、1520)。传热片(1516、1518、1520)可以是导热的且是电绝缘的或导电的。
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