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半导体装置及其制造方法
摘要:
本发明提供一种半导体装置及其制造方法,不用增加高温长时间的扩散工序,就可实现耐高压并具备可提高可靠性的降低表面电场结构。本发明的半导体装置(1),具备:配设在基板(2)中央部的主面部、具有互相间隔的第1导电型的第1半导体区域(2B)和第2半导体区域(5)、在第1半导体区域(2B)和第2半导体区域(5)之间具有与第1导电型相反的第2导电型的第3半导体区域(4)的半导体元件区域;在基板(2)周边部的主面上配设的、与第3半导体区域(4)连接、在与第3半导体区域(4)相同条件下构成的、具有相同导电型的第4半导体区域(41);从第4半导体区域(41)的主面至不满其结深的范围内构成的沟道(42)。
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