发明授权
CN101404282B 半导体装置及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 半导体装置及其制造方法
- 专利标题(英): Semiconductor device and method of manufacturing the same
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申请号: CN200810161514.X申请日: 2008-09-24
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公开(公告)号: CN101404282B公开(公告)日: 2012-03-28
- 发明人: 青木宏宪
- 申请人: 三垦电气株式会社
- 申请人地址: 日本埼玉县
- 专利权人: 三垦电气株式会社
- 当前专利权人: 三垦电气株式会社
- 当前专利权人地址: 日本埼玉县
- 代理机构: 北京银龙知识产权代理有限公司
- 代理商 钟晶
- 优先权: 2007-258743 2007.10.02 JP
- 主分类号: H01L27/04
- IPC分类号: H01L27/04 ; H01L27/088 ; H01L27/07 ; H01L29/78 ; H01L29/06 ; H01L21/822 ; H01L21/8234 ; H01L21/336
摘要:
本发明提供一种半导体装置及其制造方法,不用增加高温长时间的扩散工序,就可实现耐高压并具备可提高可靠性的降低表面电场结构。本发明的半导体装置(1),具备:配设在基板(2)中央部的主面部、具有互相间隔的第1导电型的第1半导体区域(2B)和第2半导体区域(5)、在第1半导体区域(2B)和第2半导体区域(5)之间具有与第1导电型相反的第2导电型的第3半导体区域(4)的半导体元件区域;在基板(2)周边部的主面上配设的、与第3半导体区域(4)连接、在与第3半导体区域(4)相同条件下构成的、具有相同导电型的第4半导体区域(41);从第4半导体区域(41)的主面至不满其结深的范围内构成的沟道(42)。
公开/授权文献
- CN101404282A 半导体装置及其制造方法 公开/授权日:2009-04-08
IPC分类: