PLC自动控制的多晶硅还原炉进气系统
摘要:
本发明公开了一种PLC自动控制的多晶硅还原炉进气系统,其包括有PLC控制器和仪表气源、与还原炉进气口一一对应连接的至少一个截止式方向控制阀,每个截止式方向控制阀配备有一个单电控制换向阀,所述截止式方向控制阀的气体出口与所述还原炉的进气口连接,所述截止式方向控制阀的气体进口直接连接工艺气体输入设备,所述单电控制换向阀的气体进口和一个气体出口接所述仪表气源,所述单电控制换向阀的另一个气体出口与所述截止式方向控制阀的控制口连接,所述PLC控制器与所述单电控制换向阀连接。
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