一种三次光刻实现的TFT像素结构及其制作方法
摘要:
本发明公开了一种三次光刻实现的TFT像素结构,构架于一透明基板上,依次包括栅金属层、栅绝缘层、半导体层、掺杂层、金属缓冲层、像素电极层及沟道钝化层,所述栅金属层包括栅线、栅电极及数据线,栅线与栅电极连接成一体,数据线与栅线、栅电极相分离;所述像素电极层包括源电极、漏电极及像素电极,所述漏电极与像素电极连接成一体,所述源电极与漏电极相隔离;所述通孔开设在所述栅绝缘层上,且该通孔位于所述数据线的上方,所述源电极与数据线通过所述通孔电性连接。本发明还包括该像素结构的制作方法,本发明不仅可以简化薄膜晶体管结构,而且能够降低工艺容差的要求,为薄膜晶体管液晶显示器的制造带来便利。
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