- 专利标题: 一种三次光刻实现的TFT像素结构及其制作方法
- 专利标题(英): TFT pixel construction implemented by third photo etching and manufacturing method thereof
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申请号: CN200810219094.6申请日: 2008-11-13
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公开(公告)号: CN101419973B公开(公告)日: 2011-06-08
- 发明人: 谢凡 , 胡君文 , 李林 , 王东岳 , 张风平 , 覃事建 , 洪胜宝
- 申请人: 信利半导体有限公司
- 申请人地址: 广东省汕尾市城区工业大道信利电子工业城
- 专利权人: 信利半导体有限公司
- 当前专利权人: 信利半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省汕尾市城区工业大道信利电子工业城
- 代理机构: 广州知友专利商标代理有限公司
- 代理商 宣国华
- 主分类号: H01L27/12
- IPC分类号: H01L27/12 ; H01L23/522 ; H01L21/84 ; H01L21/768 ; G02F1/1362
摘要:
本发明公开了一种三次光刻实现的TFT像素结构,构架于一透明基板上,依次包括栅金属层、栅绝缘层、半导体层、掺杂层、金属缓冲层、像素电极层及沟道钝化层,所述栅金属层包括栅线、栅电极及数据线,栅线与栅电极连接成一体,数据线与栅线、栅电极相分离;所述像素电极层包括源电极、漏电极及像素电极,所述漏电极与像素电极连接成一体,所述源电极与漏电极相隔离;所述通孔开设在所述栅绝缘层上,且该通孔位于所述数据线的上方,所述源电极与数据线通过所述通孔电性连接。本发明还包括该像素结构的制作方法,本发明不仅可以简化薄膜晶体管结构,而且能够降低工艺容差的要求,为薄膜晶体管液晶显示器的制造带来便利。
公开/授权文献
- CN101419973A 一种三次光刻实现的TFT像素结构及其制作方法 公开/授权日:2009-04-29
IPC分类: