三氯硅烷制造装置
Abstract:
一种三氯硅烷制造装置,具备:反应容器,在内部的反应流路中被供给包括四氯化硅和氢的供给气体,生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体;加热机构,具有将反应容器的内部加热的加热器部;气体供给部,将供给气体供给到反应容器内;气体排气部,将反应生成气体从反应容器内排出到外部;加热器部配置在反应容器的中央;反应流路配设在加热器部的周围。
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