Invention Grant
- Patent Title: 三氯硅烷制造装置
- Patent Title (English): Trichlorosilane production apparatus
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Application No.: CN200780012715.7Application Date: 2007-10-24
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Publication No.: CN101421190BPublication Date: 2011-08-03
- Inventor: 石井敏由记 , 伊藤秀男 , 清水祐司
- Applicant: 三菱麻铁里亚尔株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 三菱麻铁里亚尔株式会社
- Current Assignee: 高纯度硅股份有限公司
- Current Assignee Address: 日本三重县
- Agency: 中国专利代理(香港)有限公司
- Agent 温大鹏
- Priority: 297036/2006 2006.10.31 JP; 259447/2007 2007.10.03 JP
- International Application: PCT/JP2007/070715 2007.10.24
- International Announcement: WO2008/053759 JA 2008.05.08
- Date entered country: 2008-10-08
- Main IPC: C01B33/107
- IPC: C01B33/107
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Abstract:
一种三氯硅烷制造装置,具备:反应容器,在内部的反应流路中被供给包括四氯化硅和氢的供给气体,生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体;加热机构,具有将反应容器的内部加热的加热器部;气体供给部,将供给气体供给到反应容器内;气体排气部,将反应生成气体从反应容器内排出到外部;加热器部配置在反应容器的中央;反应流路配设在加热器部的周围。
Public/Granted literature
- CN101421190A 三氯硅烷制造装置 Public/Granted day:2009-04-29
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