发明授权
- 专利标题: 磨削装置
- 专利标题(英): Grinding device
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申请号: CN200810174043.6申请日: 2008-11-12
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公开(公告)号: CN101434046B公开(公告)日: 2012-04-11
- 发明人: 桑名一孝 , 福士畅之 , 力石利康 , 久保徹雄
- 申请人: 株式会社迪思科
- 申请人地址: 日本东京
- 专利权人: 株式会社迪思科
- 当前专利权人: 株式会社迪思科
- 当前专利权人地址: 日本东京
- 代理机构: 北京三友知识产权代理有限公司
- 代理商 陈坚
- 优先权: 2007-293869 2007.11.13 JP
- 主分类号: H01L21/304
- IPC分类号: H01L21/304
摘要:
本发明提供一种磨削装置,其包括中心对准构件。中心对准构件包括:摄像构件和偏移量检测构件,该偏移量检测构件根据摄像构件所拍摄得到的图像信息,检测晶片的中心与保持臂的中心的偏移量。偏移量检测构件从拍摄得到的图像信息检测出晶片的外周缘的三个点以上的坐标以求出晶片的中心,并检测出晶片的中心与保持臂的中心的偏移量。保持臂进行与偏移量相应的修正,从而以将晶片的中心定位在临时放置工作台的中心的方式载置晶片,晶片搬入构件设置成能够以这样的方式转动:吸附部划出通过临时放置工作台的中心和卡盘工作台的中心的圆弧状轨迹,晶片搬入构件将晶片的中心定位在卡盘工作台的中心后解除吸附。
公开/授权文献
- CN101434046A 磨削装置 公开/授权日:2009-05-20
IPC分类: