发明授权

磨削装置
摘要:
本发明提供一种磨削装置,其包括中心对准构件。中心对准构件包括:摄像构件和偏移量检测构件,该偏移量检测构件根据摄像构件所拍摄得到的图像信息,检测晶片的中心与保持臂的中心的偏移量。偏移量检测构件从拍摄得到的图像信息检测出晶片的外周缘的三个点以上的坐标以求出晶片的中心,并检测出晶片的中心与保持臂的中心的偏移量。保持臂进行与偏移量相应的修正,从而以将晶片的中心定位在临时放置工作台的中心的方式载置晶片,晶片搬入构件设置成能够以这样的方式转动:吸附部划出通过临时放置工作台的中心和卡盘工作台的中心的圆弧状轨迹,晶片搬入构件将晶片的中心定位在卡盘工作台的中心后解除吸附。
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