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发明授权
CN101449328B 束记录装置和束调整方法 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 束记录装置和束调整方法
  • 专利标题（英）： Beam recording device, and beam adjusting method
  • 申请号： CN200780018733.6
    申请日： 2007-03-23
  • 公开(公告)号： CN101449328B
    公开(公告)日： 2011-07-27
  • 发明人: 北原弘昭 , 和田泰光
  • 申请人： 先锋株式会社
  • 申请人地址： 日本东京都
  • 专利权人： 先锋株式会社
  • 当前专利权人： 日本先锋公司
  • 当前专利权人地址： 日本东京都
  • 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
  • 代理商 蹇炜
  • 优先权： 082848/2006 2006.03.24 JP
  • 国际申请： PCT/JP2007/056057 2007.03.23
  • 国际公布： WO2007/111260 JA 2007.10.04
  • 进入国家日期： 2008-11-21
  • 主分类号： G11B9/10
  • IPC分类号： G11B9/10
束记录装置和束调整方法
摘要：
一种电子束记录装置，其用于在旋转上面放置有基底的转盘时朝所述基底发射电子束。所述记录装置包括：位移探测单元，包括以各自不同的角度安置于所述转盘的径向方向上的至少三个位移传感器；形状推算单元，用于基于由所述至少三个位移传感器所探测的位移，来推算与所述转盘的侧表面在所述径向方向上的位移对应的形状数据；旋转跳动计算单元，用于基于所述形状数据和由所述至少三个位移传感器探测的至少一个位移来计算所述转盘的包括旋转异步分量和旋转同步分量的旋转跳动；以及束照射位置调整单元，用于基于所述旋转跳动来调整所述电子束的照射位置。
摘要（英）：

The present invention provides a beam recording device comprising a displacement detector having at least three displacement sensors arranged at different angles in the radial directions of a turntable, a shape calculator for calculating shape data corresponding to the displacement of the side face of the turntable in the radial directions, on the basis of the detected displacements of the aforementioned at least three displacement sensors, a rotational deflection computing unit for computing the rotational deflection, as containing a rotational asynchronous component and a rotational synchronous component, of the turntable, on the basis of the detected displacement from at least one of the displacement sensors and the shape data, and a beam irradiation position adjustor for adjusting theirradiation position of an electron beam on the basis of the rotational deflection.

公开/授权文献
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