- 专利标题: 光刻胶剥离剂组合物和用该光刻胶剥离剂组合物剥离光刻胶的方法
- 专利标题(英): Stripper composition for photoresist and method for stripping photoresist stripping composition using the composition
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申请号: CN200780019163.2申请日: 2007-05-25
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公开(公告)号: CN101454872B公开(公告)日: 2011-04-06
- 发明人: 韩熙 , 朴珉春 , 金璟晙 , 徐圣佑 , 权赫俊 , 安庆昊 , 崔棅圭 , 闵盛晙 , 黄智泳
- 申请人: LG化学株式会社
- 申请人地址: 韩国首尔
- 专利权人: LG化学株式会社
- 当前专利权人: LG化学株式会社
- 当前专利权人地址: 韩国首尔
- 代理机构: 北京金信立方知识产权代理有限公司
- 代理商 朱梅; 黄丽娟
- 优先权: 10-2006-0047668 2006.05.26 KR
- 国际申请: PCT/KR2007/002542 2007.05.25
- 国际公布: WO2007/139315 EN 2007.12.06
- 进入国家日期: 2008-11-25
- 主分类号: H01L21/027
- IPC分类号: H01L21/027
摘要:
本发明涉及一种光刻胶剥离剂组合物、用该光刻胶剥离剂组合物剥离光刻胶的方法以及制备液晶显示器或半导体器件的方法。在剥离工艺和剥离光刻剂的已知步骤中,该光刻胶剥离剂组合物能够在短时间内在低温下彻底剥离由于过度的光刻工艺造成的变性的光刻胶膜,即使仅通过水而非异丙醇作为中间冲洗溶液进行冲洗也不破坏光刻胶下部的导电膜或绝缘膜,并且其对光刻胶下部的导电金属膜或绝缘膜具有极佳的缓蚀能力。
公开/授权文献
- CN101454872A 用于光刻胶的剥离剂组合物 公开/授权日:2009-06-10
IPC分类: