发明公开
CN101456142A 加工装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 加工装置
- 专利标题(英): Processing apparatus
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申请号: CN200810188113.3申请日: 2008-12-12
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公开(公告)号: CN101456142A公开(公告)日: 2009-06-17
- 发明人: 高伟 , 卢泳辰 , 荒井义和 , 小田桐广和
- 申请人: 株式会社东北宏桥技术 , 索尼株式会社
- 申请人地址: 日本宫城县
- 专利权人: 株式会社东北宏桥技术,索尼株式会社
- 当前专利权人: 株式会社东北宏桥技术,索尼株式会社
- 当前专利权人地址: 日本宫城县
- 代理机构: 北京康信知识产权代理有限责任公司
- 代理商 余刚; 吴孟秋
- 优先权: 2007-324022 2007.12.14 JP
- 主分类号: B23Q17/09
- IPC分类号: B23Q17/09
摘要:
本发明公开一种加工装置,包括加工部、致动器、壳、预载荷机构、力传感器和检测单元。加工部包括切割刃。致动器被配置为使加工部轻微地振动。壳被配置为容纳致动器。预载荷机构设置在壳内并被配置为向致动器施加预载荷。力传感器设置在切割刃和预载荷机构之间。检测单元基于力传感器的输出检测加工部的切割力。本发明能够以高精度检测切割力,并且能够以高精度在工件表面上形成微型和复杂的三维图案。
公开/授权文献
- CN101456142B 加工装置 公开/授权日:2011-01-12