发明授权
CN101456142B 加工装置 失效 - 权利终止

加工装置
摘要:
本发明公开一种加工装置,包括加工部、致动器、壳、预载荷机构、力传感器和检测单元。加工部包括切割刃。致动器被配置为使加工部轻微地振动。壳被配置为容纳致动器。预载荷机构设置在壳内并被配置为向致动器施加预载荷。力传感器设置在切割刃和预载荷机构之间。检测单元基于力传感器的输出检测加工部的切割力。本发明能够以高精度检测切割力,并且能够以高精度在工件表面上形成微型和复杂的三维图案。
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