发明授权
CN101459046B 轻掺杂漏极掺杂区方块电阻的测试结构及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 轻掺杂漏极掺杂区方块电阻的测试结构及其制造方法
- 专利标题(英): Test construction for light doped drain doping region square resistor and manufacturing method thereof
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申请号: CN200710094558.0申请日: 2007-12-13
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公开(公告)号: CN101459046B公开(公告)日: 2010-11-10
- 发明人: 叶好华 , 毛刚 , 何德飚
- 申请人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江路18号
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 李丽
- 主分类号: H01L21/00
- IPC分类号: H01L21/00 ; H01L23/544
摘要:
LDD掺杂区方块电阻的测试结构的制造方法,包括:提供具有栅层的半导体衬底,该半导体衬底具有第一区域和第二区域;图形化所述栅层,在第二区域形成栅极,并在第一区域至少形成两个栅极;执行LDD掺杂工艺,在第二区域的栅极两侧的半导体衬底中和第一区域的栅极之间的半导体衬底中形成LDD掺杂区;在所述栅极上、侧壁以及栅极之间的半导体衬底上形成介质层;刻蚀去除所述栅极顶部的介质层,并保留第一区域的LDD掺杂区上部分厚度或全部的介质层。本发明还提供一种LDD掺杂区方块电阻的测试结构。本发明有助于提高对LDD掺杂区方块电阻测量的精度。
公开/授权文献
- CN101459046A 轻掺杂漏极掺杂区方块电阻的测试结构及其制造方法 公开/授权日:2009-06-17
IPC分类: