热电子源的制备方法
摘要:
本发明涉及一种热电子源的制备方法,其具体包括以下步骤:提供一基板,在该基板的表面间隔地形成一第一电极和一第二电极;形成一碳纳米管薄膜结构覆盖所述第一电极和第二电极作为热电子发射体,该碳纳米管薄膜结构至少部分通过所述第一电极和第二电极与所述基板间隔,从而得到一热电子源。
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