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反磁悬浮振动微陀螺
摘要:
本发明涉及一种微机电技术领域的反磁悬浮振动微陀螺,包括反磁悬浮振子、上定子、下定子、水平检测驱动电极,上定子包括上极板、上永磁体块,下定子包括下极板、下永磁体块,水平检测驱动电极环绕分布在反磁悬浮振子的周围的同一个平面内,上定子的上永磁体块在上极板上方,下定子的下永磁体块在下极板的下方;所有电极关于反磁悬浮振子中心对称分布。利用反磁悬浮振子在一定频率下的参考振动作为工作状态,当外界有垂直方向角速度输入时,会产生柯氏力,使反磁悬浮振子发生位移偏移,产生电势。从而通过检测输出电极上的电压信号检测外界的输入角速度。本发明结构简单,加工工艺简单,精度高,成本低。
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