发明授权
CN101476887B 反磁悬浮振动微陀螺
失效 - 权利终止
- 专利标题: 反磁悬浮振动微陀螺
- 专利标题(英): Inverse magnetic suspension vibrating micro-gyroscope
-
申请号: CN200910045762.2申请日: 2009-02-05
-
公开(公告)号: CN101476887B公开(公告)日: 2010-12-01
- 发明人: 张卫平 , 戴福彦 , 陈文元 , 刘武 , 刘凯
- 申请人: 上海交通大学
- 申请人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人: 上海交通大学
- 当前专利权人地址: 上海市闵行区东川路800号
- 代理机构: 上海交达专利事务所
- 代理商 王锡麟; 王桂忠
- 主分类号: G01C19/56
- IPC分类号: G01C19/56
摘要:
本发明涉及一种微机电技术领域的反磁悬浮振动微陀螺,包括反磁悬浮振子、上定子、下定子、水平检测驱动电极,上定子包括上极板、上永磁体块,下定子包括下极板、下永磁体块,水平检测驱动电极环绕分布在反磁悬浮振子的周围的同一个平面内,上定子的上永磁体块在上极板上方,下定子的下永磁体块在下极板的下方;所有电极关于反磁悬浮振子中心对称分布。利用反磁悬浮振子在一定频率下的参考振动作为工作状态,当外界有垂直方向角速度输入时,会产生柯氏力,使反磁悬浮振子发生位移偏移,产生电势。从而通过检测输出电极上的电压信号检测外界的输入角速度。本发明结构简单,加工工艺简单,精度高,成本低。
公开/授权文献
- CN101476887A 反磁悬浮振动微陀螺 公开/授权日:2009-07-08