激光加工装置及使用该激光加工装置的激光加工方法
Abstract:
本发明提供一种激光加工装置,其中,XY台由可上下移动的多个分割块构成,使至少一个分割块在下降状态下停止,并向与该分割块的上方对应的区域的被加工物照射激光束,从而形成贯通孔。
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