- 专利标题: 具有自动警示功能的外延生产用可控压力顶笔装置
- 专利标题(英): Controllable pressure pen ejecting apparatus possessing automatic alarming function for epitaxial production
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申请号: CN200910095374.5申请日: 2009-01-12
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公开(公告)号: CN101498036B公开(公告)日: 2011-03-16
- 发明人: 梁兴勃 , 张向成 , 王震 , 陈华 , 徐林海 , 丁海东 , 彭世煜
- 申请人: 宁波立立电子股份有限公司
- 申请人地址: 浙江省宁波市保税区港东大道20号
- 专利权人: 宁波立立电子股份有限公司
- 当前专利权人: 金瑞泓科技(衢州)有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市保税区港东大道20号
- 代理机构: 杭州求是专利事务所有限公司
- 代理商 韩介梅
- 主分类号: C30B25/02
- IPC分类号: C30B25/02 ; C30B23/02 ; C30B35/00
摘要:
本发明公开的具有自动警示功能的外延生产用可控压力顶笔装置,包括顶笔头、笔身、滑杆、笔杆和压力调节和自动警示装置,压力调节和自动警示装置包括壳体、置于壳体中的两个弹簧座、钮扣电池和弹簧,两个弹簧座通过轴向孔滑动配合,弹簧位于两个弹簧座之间,处于压紧状态,两个弹簧座的轴向孔内壁和轴向杆上分别镶嵌有金属片,置于笔杆中的滑杆的一端与固定顶笔头的笔身连接,另一端与第一弹簧座伸出壳体端接触。当顶笔头受力,两个弹簧座的金属片接触,电路接通,警示灯亮,该顶笔装置能够保证操作者对置于基座中的衬底片进行顶压时所施加顶笔的压力一致,消除由于人为因素造成的顶片效果差别,提高外延片的电阻率一致性和厚度均匀性。
公开/授权文献
- CN101498036A 具有自动警示功能的外延生产用可控压力顶笔装置 公开/授权日:2009-08-05
IPC分类: