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微激光束精密加工光学装置
摘要:
微激光束精密加工光学装置,涉及一种精密加工装置。提供一种具有可见光同轴定位指示,可方便地实现无衍射光束与喷嘴微孔直接耦合,用于激光精密加工的微激光束精密加工光学装置。设有激光器、可见光光源、平面镜、扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口、压力流体腔和喷嘴微孔。平面镜位于激光器及可见光光源前方,激光器发射的激光束与可见光光源的光束经平面镜耦合,扩束准直器位于平面镜前方,旋转三棱镜位于扩束准直器前方,压力流体腔位于旋转三棱镜前方,光学窗口设于压力流体腔顶部,喷嘴微孔设于压力流体腔底部,经平面镜耦合后的光束与扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口及喷嘴微孔同轴。
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