发明授权
CN101508060B 微激光束精密加工光学装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 微激光束精密加工光学装置
- 专利标题(英): Micro laser beam precise finishing optical device
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申请号: CN200910111326.0申请日: 2009-03-20
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公开(公告)号: CN101508060B公开(公告)日: 2011-04-20
- 发明人: 黄元庆 , 叶瑞芳 , 沈阳
- 申请人: 厦门大学
- 申请人地址: 福建省厦门市思明南路422号
- 专利权人: 厦门大学
- 当前专利权人: 厦门大学
- 当前专利权人地址: 福建省厦门市思明南路422号
- 代理机构: 厦门南强之路专利事务所
- 代理商 马应森; 刘勇
- 主分类号: B23K26/42
- IPC分类号: B23K26/42 ; G02B17/08 ; G02B27/09
摘要:
微激光束精密加工光学装置,涉及一种精密加工装置。提供一种具有可见光同轴定位指示,可方便地实现无衍射光束与喷嘴微孔直接耦合,用于激光精密加工的微激光束精密加工光学装置。设有激光器、可见光光源、平面镜、扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口、压力流体腔和喷嘴微孔。平面镜位于激光器及可见光光源前方,激光器发射的激光束与可见光光源的光束经平面镜耦合,扩束准直器位于平面镜前方,旋转三棱镜位于扩束准直器前方,压力流体腔位于旋转三棱镜前方,光学窗口设于压力流体腔顶部,喷嘴微孔设于压力流体腔底部,经平面镜耦合后的光束与扩束准直器、旋转三棱镜、光学窗口及喷嘴微孔同轴。
公开/授权文献
- CN101508060A 微激光束精密加工光学装置 公开/授权日:2009-08-19