激光切割脆性材料的方法及装置
摘要:
本发明涉及一种激光切割脆性材料的方法,其包括步骤:提供一第一激光束;利用一空间过滤器将第一激光束过滤整形成一具预定能量密度轮廓的第二激光束;将第二激光束调制整形成具长条形光斑形状的一第三激光束,该第三激光束具有一前导端及一拖曳端,该第三激光束的能量密度轮廓线在该前导端的平均斜率小于在拖曳端的平均斜率;利用第三激光束加热一脆性材料;以及在脆性材料上距离第三激光束的拖曳端预定距离的位置施加一冷却流体,以使该脆性材料沿该第三激光束的移动方向产生裂纹成长。本发明还提供执行前述激光切割脆性材料的方法之装置。
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