发明授权
- 专利标题: 激光切割脆性材料的方法及装置
- 专利标题(英): Method for cutting brittle materials by laser and device
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申请号: CN200810300378.8申请日: 2008-02-21
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公开(公告)号: CN101513692B公开(公告)日: 2011-09-07
- 发明人: 周祥瑞 , 何仁钦 , 黄俊凯 , 傅承祖
- 申请人: 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司 , 沛鑫能源科技股份有限公司
- 申请人地址: 上海市松江区松江工业区西部科技工业园区文吉路500号
- 专利权人: 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司,沛鑫能源科技股份有限公司
- 当前专利权人: 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司,晶鼎能源科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市松江区松江工业区西部科技工业园区文吉路500号
- 主分类号: B23K26/38
- IPC分类号: B23K26/38 ; B23K26/067 ; B23K26/42
摘要:
本发明涉及一种激光切割脆性材料的方法,其包括步骤:提供一第一激光束;利用一空间过滤器将第一激光束过滤整形成一具预定能量密度轮廓的第二激光束;将第二激光束调制整形成具长条形光斑形状的一第三激光束,该第三激光束具有一前导端及一拖曳端,该第三激光束的能量密度轮廓线在该前导端的平均斜率小于在拖曳端的平均斜率;利用第三激光束加热一脆性材料;以及在脆性材料上距离第三激光束的拖曳端预定距离的位置施加一冷却流体,以使该脆性材料沿该第三激光束的移动方向产生裂纹成长。本发明还提供执行前述激光切割脆性材料的方法之装置。
公开/授权文献
- CN101513692A 激光切割脆性材料的方法及装置 公开/授权日:2009-08-26
IPC分类: