发明授权
- 专利标题: 激光切割脆性基板的方法及脆性基板
- 专利标题(英): Brittle substrate and laser cutting method therefor
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申请号: CN200810300564.1申请日: 2008-03-13
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公开(公告)号: CN101530951B公开(公告)日: 2012-03-14
- 发明人: 周祥瑞 , 何仁钦 , 黄俊凯 , 傅承祖
- 申请人: 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司 , 沛鑫能源科技股份有限公司
- 申请人地址: 上海市松江区松江工业区西部科技工业园区文吉路500号
- 专利权人: 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司,沛鑫能源科技股份有限公司
- 当前专利权人: 富士迈半导体精密工业(上海)有限公司,晶鼎能源科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市松江区松江工业区西部科技工业园区文吉路500号
- 主分类号: B23K26/38
- IPC分类号: B23K26/38 ; C03B33/09
摘要:
一种激光切割脆性基板的方法,其包括步骤:提供一个脆性基板;利用一激光切割制程在脆性基板之邻近其一边缘的位置形成一条沿一第一方向延伸的第一切割线;在脆性基板上之邻近第一切割线的起始端之位置形成一个起始于该边缘且跨过第一切割线的初始裂纹,初始裂纹沿一不同于第一方向的第二方向延伸;以及利用一激光切割制程在脆性基板上沿着初始裂纹形成一条沿第二方向延伸之第二切割线。本发明还提供由前述方法制得的一种脆性基板。
公开/授权文献
- CN101530951A 激光切割脆性基板的方法及脆性基板 公开/授权日:2009-09-16
IPC分类: