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发明授权
CN101542008B 蒸镀装置及使用蒸镀装置的膜的制造方法 失效 - 权利终止

  • 专利标题： 蒸镀装置及使用蒸镀装置的膜的制造方法
  • 专利标题（英）： Deposition apparatus and method for manufacturing film by using deposition apparatus
  • 申请号： CN200880000483.8
    申请日： 2008-03-10
  • 公开(公告)号： CN101542008B
    公开(公告)日： 2011-08-24
  • 发明人: 冈崎祯之 , 本田和义 , 柳智文 , 今宿升一
  • 申请人： 松下电器产业株式会社
  • 申请人地址： 日本大阪府
  • 专利权人： 松下电器产业株式会社
  • 当前专利权人： 松下电器产业株式会社
  • 当前专利权人地址： 日本大阪府
  • 代理机构： 北京市中咨律师事务所
  • 代理商 段承恩; 田欣
  • 优先权： 059442/2007 2007.03.09 JP; 103621/2007 2007.04.11 JP; 103622/2007 2007.04.11 JP; 273922/2007 2007.10.22 JP
  • 国际申请： PCT/JP2008/000519 2008.03.10
  • 国际公布： WO2008/111306 JA 2008.09.18
  • 进入国家日期： 2009-01-22
  • 主分类号： C23C14/24
  • IPC分类号： C23C14/24
蒸镀装置及使用蒸镀装置的膜的制造方法
摘要：
本发明提供一种蒸镀装置，是通过在腔室(2)内以卷轴到卷轴的方式使片状的基板(4)移动，由此在基板(4)上连续形成蒸镀膜的蒸镀装置(100)，具有：使蒸镀原料蒸发的蒸发源(9)；包括卷绕保持基板(4)的第1及第2卷轴(3、8)和对基板(4)进行引导的引导部的输送部；配置在上述能够蒸镀的区域的、形成来自蒸发源(9)的蒸镀原料不能到达的遮蔽区域的遮蔽部，并且，蒸镀区域(60a～60d)包括按照使基板(4)的被蒸镀原料照射的面成为平面的方式输送基板(4)的平面输送区域，在除了遮蔽区域之外的能够蒸镀的区域中，按照使蒸镀材料不从基板(4)的法线方向入射到基板(4)的方式相对于蒸发源(9)配置输送部。
摘要（英）：

In a deposition apparatus (100), a deposition film is continuously formed on a sheet-like substrate (4) by moving the substrate (4) in a chamber (2) by a roll-to-roll system. The deposition apparatus is provided with an evaporation source (9) for evaporating a deposition material; a transfer section, which includes first and second rolls (3, 8) for holding the substrate (4) by having the substrate wound thereon and a guide section for guiding the substrate (4); and a shielding section, which is arranged in a region where the film can be deposited and forms a shielding region where the deposition material from the evaporation source (9) doesnot reach. Deposition regions (60a-60d) include a flat transfer region for transferring the substrate (4) so that a surface of the substrate (4) to be irradiated with the deposition material is flat. A transfer section is arranged for the evaporation source (9) so that the deposition material does not enter the substrate (4) from the normal line direction of the substrate (4), in the region where the film can be deposited, excluding the shielding region.

公开/授权文献
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