发明公开
CN101545136A 微加热器阵列、具有其的PN结器件及制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 微加热器阵列、具有其的PN结器件及制造方法
- 专利标题(英): Micro-heater arrays and pn-junction devices having micro-heater arrays, and methods for fabricating the same
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申请号: CN200810185914.4申请日: 2008-12-16
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公开(公告)号: CN101545136A公开(公告)日: 2009-09-30
- 发明人: 崔濬熙 , 朴性秀 , 安德雷·朱尔卡尼夫 , 韩在镕 , 郑得锡
- 申请人: 三星电子株式会社
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人: 三星电子株式会社
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 张波
- 优先权: 27233/08 2008.03.25 KR
- 主分类号: C30B25/10
- IPC分类号: C30B25/10 ; H01L21/04 ; H01L21/205
摘要:
本发明提供一种微加热器阵列和包括微加热器阵列的PN结器件及其制造方法。本发明包括:包括在衬底上彼此垂直或平行设置的第一微加热器和第二微加热器的微加热器阵列;以及利用当将电压施加到微加热器阵列时分别从第一加热部分和第二加热部分产生的热在第一加热部分与第二加热部分之间制造PN结的方法。因此,当使用微加热器形成PN结时,可以在玻璃衬底上的大面积内制造高质量的PN结。
公开/授权文献
- CN101545136B 微加热器阵列、具有其的PN结器件及制造方法 公开/授权日:2013-08-07
IPC分类: