发明授权
CN101546731B 半导体装置中的垂直沟道晶体管及其制造方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 半导体装置中的垂直沟道晶体管及其制造方法
- 专利标题(英): Vertical channel transistor in semiconductor device and method of fabricating the same
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申请号: CN200910129463.7申请日: 2009-03-20
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公开(公告)号: CN101546731B公开(公告)日: 2011-10-12
- 发明人: 曹允硕
- 申请人: 海力士半导体有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道利川市
- 专利权人: 海力士半导体有限公司
- 当前专利权人: 海力士半导体有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道利川市
- 代理机构: 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 杨林森; 康建峰
- 优先权: 10-2008-0027425 2008.03.25 KR
- 主分类号: H01L21/8234
- IPC分类号: H01L21/8234 ; H01L21/768 ; H01L21/311 ; H01L27/105 ; H01L23/52
摘要:
一种半导体装置中的垂直沟道晶体管及其制造方法。制造半导体装置的垂直沟道晶体管的方法包括:在基板上形成多个有源柱,每个有源柱具有形成在其下部上并围绕该下部的栅电极;在有源柱之上形成第一绝缘层,以填充有源柱之间的间隙区;部分地去除第一绝缘层,以在所有方向上暴露栅电极的周围表面,而不暴露有源柱之间的间隙区中的基板;在剩余的第一绝缘层上形成传导层,以填充有源柱之间的间隙区;以及图案化传导层,以形成在所有方向上围绕并接触栅电极的周围表面的字线。
公开/授权文献
- CN101546731A 半导体装置中的垂直沟道晶体管及其制造方法 公开/授权日:2009-09-30
IPC分类: