在ZnO纳米线场效应管制备中实现ZnO纳米线固定的方法
Abstract:
本发明公开了一种在ZnO纳米线场效应管制备中实现ZnO纳米线固定的方法,该方法包括:在场效应管衬底上涂一层9912光刻胶,采用阴版光刻曝光后,将ZnO纳米线沉积到衬底上,不去胶,再涂一层9912光刻胶,再曝光,蒸发Ti/Au源漏金属,利用源漏pad金属将ZnO纳米线固定住,从而实现ZnO纳米线的固定。由于本发明采用了双层胶光刻技术,所以解决了ZnO纳米线场效应晶体管制备过程中纳米线从衬底脱落的问题,避免器件失效。
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