Invention Grant
- Patent Title: 在ZnO纳米线场效应管制备中实现ZnO纳米线固定的方法
- Patent Title (English): Method for fixing ZnO nanometer wire in preparation of ZnO nanometer wire field effect tube
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Application No.: CN200810103227.3Application Date: 2008-04-02
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Publication No.: CN101552203BPublication Date: 2010-07-21
- Inventor: 付晓君 , 张海英 , 徐静波 , 黎明
- Applicant: 中国科学院微电子研究所
- Applicant Address: 北京市朝阳区北土城西路3号
- Assignee: 中国科学院微电子研究所
- Current Assignee: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中国科学院微电子研究所
- Current Assignee Address: 北京市朝阳区北土城西路3号
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 周国城
- Main IPC: H01L21/335
- IPC: H01L21/335 ; H01L21/368
Abstract:
本发明公开了一种在ZnO纳米线场效应管制备中实现ZnO纳米线固定的方法,该方法包括:在场效应管衬底上涂一层9912光刻胶,采用阴版光刻曝光后,将ZnO纳米线沉积到衬底上,不去胶,再涂一层9912光刻胶,再曝光,蒸发Ti/Au源漏金属,利用源漏pad金属将ZnO纳米线固定住,从而实现ZnO纳米线的固定。由于本发明采用了双层胶光刻技术,所以解决了ZnO纳米线场效应晶体管制备过程中纳米线从衬底脱落的问题,避免器件失效。
Public/Granted literature
- CN101552203A 在ZnO纳米线场效应管制备中实现ZnO纳米线固定的方法 Public/Granted day:2009-10-07
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IPC分类: