发明授权
CN101552291B N沟道超结纵向双扩散金属氧化物半导体管
失效 - 权利终止
摘要:
一种N沟道超结纵向双扩散金属氧化物半导体管,包括:兼做漏区的N型掺杂硅衬底、N型掺杂硅外延层、原胞区域和设在原胞区域周围的终端区域,所述的N型掺杂硅外延层设在N型掺杂硅衬底上,原胞区域和终端区域设在N型掺杂硅外延层上,所述的终端区域包括第一超结结构和N型硅掺杂半导体区,其中第一超结结构包括P型柱和N型柱,在N型硅掺杂半导体区中设有N型重掺杂半导体区,在第一超结结构和N型硅掺杂半导体区上设有场氧化层,在N型重掺杂半导体区上连接有金属层,其特征在于在第一超结结构和N型硅掺杂半导体区上设有场氧化层。
公开/授权文献
- CN101552291A N沟道超结纵向双扩散金属氧化物半导体管 公开/授权日:2009-10-07
IPC分类: