发明授权
- 专利标题: 用于对离子束进行磁性扫描和校正的系统
- 专利标题(英): System for magnetic scanning and correction of an ion beam
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申请号: CN200780034611.6申请日: 2007-09-13
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公开(公告)号: CN101558469B公开(公告)日: 2012-06-13
- 发明人: 波·凡德尔贝格 , 罗伯特·拉特梅尔 , 爱德华·艾斯纳
- 申请人: 艾克塞利斯科技公司
- 申请人地址: 美国马萨诸塞州
- 专利权人: 艾克塞利斯科技公司
- 当前专利权人: 艾克塞利斯科技公司
- 当前专利权人地址: 美国马萨诸塞州
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 王波波
- 优先权: 11/523,148 2006.09.19 US
- 国际申请: PCT/US2007/019903 2007.09.13
- 国际公布: WO2008/036192 EN 2008.03.27
- 进入国家日期: 2009-03-18
- 主分类号: H01J37/317
- IPC分类号: H01J37/317 ; H01J37/147
摘要:
一种磁性扫描器,采用恒定的磁场来减轻零磁场效应。该扫描器包含上极器件以及下极器件,用于在离子束的路径上产生振荡时变磁场并且在扫描方向上偏转该离子束。一组入口磁铁被设置在该扫描器的入口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的入口磁场。一组出口磁铁被设置在该扫描器的出口附近并且在该离子束的路径上产生恒定的出口磁场。
公开/授权文献
- CN101558469A 用于对离子束进行磁性扫描和校正的系统 公开/授权日:2009-10-14