发明授权
CN101560638B 金属氧化法制备氧化钒薄膜的方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 金属氧化法制备氧化钒薄膜的方法
- 专利标题(英): Method for preparing vanadium oxide film by metal oxidation method
-
申请号: CN200910069046.8申请日: 2009-05-27
-
公开(公告)号: CN101560638B公开(公告)日: 2010-12-01
- 发明人: 胡明 , 陈涛 , 梁继然 , 逯家宁 , 杨海波
- 申请人: 天津大学
- 申请人地址: 天津市南开区卫津路92号
- 专利权人: 天津大学
- 当前专利权人: 天津大学
- 当前专利权人地址: 天津市南开区卫津路92号
- 代理机构: 天津市北洋有限责任专利代理事务所
- 代理商 曹玉平
- 主分类号: C23C14/08
- IPC分类号: C23C14/08 ; C23C14/35 ; C23C14/54
摘要:
本发明公开了一种金属氧化法制备氧化钒薄膜的方法,步骤为:(1)制备Si3N4层硅片;(2)制备纯金属钒薄膜:真空度为(5~6)×10-4Pa,溅射工作气压为1~2.0Pa,溅射时间为10~20min;(3)退火氧化:退火温度为400~500℃,退火氧化时间为1~2h。本发明提供了一种易于控制、工艺简单的金属氧化法制备氧化钒薄膜的方法,其产品的电阻温度系数达到-3×10-2K-1以上,拓展了氧化钒薄膜的制备方法。本发明是目前用来制作热敏传感器、红外探测器和红外成像器件的理想材料。
公开/授权文献
- CN101560638A 金属氧化法制备氧化钒薄膜的方法 公开/授权日:2009-10-21
IPC分类: