金属氧化法制备氧化钒薄膜的方法
摘要:
本发明公开了一种金属氧化法制备氧化钒薄膜的方法,步骤为:(1)制备Si3N4层硅片;(2)制备纯金属钒薄膜:真空度为(5~6)×10-4Pa,溅射工作气压为1~2.0Pa,溅射时间为10~20min;(3)退火氧化:退火温度为400~500℃,退火氧化时间为1~2h。本发明提供了一种易于控制、工艺简单的金属氧化法制备氧化钒薄膜的方法,其产品的电阻温度系数达到-3×10-2K-1以上,拓展了氧化钒薄膜的制备方法。本发明是目前用来制作热敏传感器、红外探测器和红外成像器件的理想材料。
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