真空容器和等离子体处理装置
摘要:
本发明提供一种真空容器,其能够维持作为真空容器的充分机械强度,同时能够实现轻量化,并能够极力减轻其材料费和加工费。等离子体处理容器(100a)具有成形为方筒形的下部容器(1)和与该下部容器(1)组合的上部容器(10)。上部容器(10)具有框体(21)、经由绝缘部件(23)连接在该框体(21)上的喷淋头(25)、配设在这些框体(21)以及喷淋头(25)的上方的梁结构体(27),构成喷淋头(25)的底板(31)露出在大气压的外部空间。
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