微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片
摘要:
本发明是有关于一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片,具有一第一镜片以及一第二镜片,均为新月形且凹面在微机电反射镜侧的镜片所构成;其中,所述第一镜片,具有一第一光学面及一第二光学面,主要是将微机电反射镜反射的角度与时间非线性关系的扫描关系的扫瞄光线光点转换成距离与时间为线性的扫描光线光点;所述第二镜片,具有一第三光学面及一第四光学面,主要是将第一镜片的扫瞄光线修正聚光于目标物上,且第一镜片及第二镜片均满足特定的光学条件,藉由第一镜片及第二镜片的设置,可以达成线性扫描效果与高解析度扫描的功效。
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