成膜装置和成膜方法
Abstract:
本发明提供一种成膜装置和成膜方法,该成膜装置包括:内部被保持为减压空间的处理容器;由以碳为主要成分的材料构成、用于在处理容器内保持基板的基板保持部;配置在处理容器的外侧、用于感应加热基板保持部的线圈;和以覆盖基板保持部、且从处理容器离开的方式配置的绝热部件。上述的减压空间被分离为用于供给成膜气体的成膜气体供给空间,和在基板保持部与处理容器之间被划分形成的绝热空间,绝热空间被供给冷却介质。
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