Invention Publication
- Patent Title: 具有蚀刻停止层的端面蚀刻脊型激光器
- Patent Title (English): Etched-facet ridge lasers with etch-stop
-
Application No.: CN200680056793.2Application Date: 2006-12-26
-
Publication No.: CN101569067APublication Date: 2009-10-28
- Inventor: A·A·贝法 , C·B·斯塔盖瑞斯库 , A·T·施雷默尔
- Applicant: 宾奥普迪克斯股份有限公司
- Applicant Address: 美国纽约州
- Assignee: 宾奥普迪克斯股份有限公司
- Current Assignee: 镁可微波技术有限公司
- Current Assignee Address: 美国纽约州
- Agency: 上海专利商标事务所有限公司
- Agent 侯颖媖
- International Application: PCT/US2006/049182 2006.12.26
- International Announcement: WO2008/079120 EN 2008.07.03
- Date entered country: 2009-06-24
- Main IPC: H01S5/00
- IPC: H01S5/00

Abstract:
一种光子器件包括外延结构,该外延结构具有有源区且包括在有源区之上但靠近有源区的湿法蚀刻停止层。通过先干法蚀刻再湿法蚀刻在该外延结构上制造端面蚀刻脊型激光器。干法蚀刻被设计成在到达形成脊所需的深度之前停止。湿法蚀刻完成脊条的形成并在湿法蚀刻停止层处停止。
Public/Granted literature
- CN101569067B 具有蚀刻停止层的端面蚀刻脊型激光器 Public/Granted day:2012-04-25
Information query