• 专利标题: 一种给溅射镀膜阴极施加磁场的方法
  • 专利标题(英): Method for applying magnetic field to sputtering coated cathode
  • 申请号: CN200910027040.4
    申请日: 2009-05-25
  • 公开(公告)号: CN101570851B
    公开(公告)日: 2011-04-13
  • 发明人: 狄国庆
  • 申请人: 苏州大学
  • 申请人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路199号
  • 专利权人: 苏州大学
  • 当前专利权人: 苏州大学
  • 当前专利权人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区仁爱路199号
  • 代理机构: 苏州创元专利商标事务所有限公司
  • 代理商 陶海锋
  • 主分类号: C23C14/35
  • IPC分类号: C23C14/35
一种给溅射镀膜阴极施加磁场的方法
摘要:
本发明公开了一种给溅射镀膜阴极施加磁场的方法,采用磁场辅助溅射方式镀膜,靶材和基片平行设置于电场中,靶材位于阴极表面,使靶材和基片之间形成等离子区,离子轰击靶材产生溅射,溅射出的靶材原子或分子沉积在基片上形成薄膜,其特征在于:在基片的背侧设置一个磁极朝向靶材方向的永久磁铁或电磁铁,在所述靶材背侧设置一铁磁性片材,使得所述靶材位于磁场中,磁场的强度分布均匀、方向垂直于靶材表面设置。本发明的方法能够大幅度提高溅射镀膜的速率,大幅度提高镀膜的结晶质量;能整体比较均匀地刻蚀靶材,靶材的利用率可以提高到85~90%;同时避免了冷却水对磁铁的腐蚀影响,可以在较高温度下实现溅射,更利于提高靶材的溅射速率。
公开/授权文献
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