发明授权
- 专利标题: 一种光刻机硅片台双台交换系统
- 专利标题(英): Photoetching machine wafer stage dual-stage switching system
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申请号: CN200910131507.X申请日: 2009-04-03
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公开(公告)号: CN101571676B公开(公告)日: 2010-12-01
- 发明人: 朱煜 , 张鸣 , 汪劲松 , 田丽 , 徐登峰 , 尹文生 , 段广洪 , 胡金春
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学,北京华卓精科科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室
- 代理机构: 北京鸿元知识产权代理有限公司
- 代理商 邸更岩
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20
摘要:
一种光刻机硅片台双台交换系统,该系统含有运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台,两个硅片台设置在同一基台上,通过气浮轴承悬浮在基台上表面;每个硅片台分别由一条沿Y方向的导轨穿过,导轨的一端与一个主驱动单元连接,两个硅片台可沿导轨在Y方向移动,导轨另一端可与一个X方向单自由度辅助驱动单元对接,并在单自由度辅助驱动单元驱动下可实现硅片台在X方向的移动;单自由度辅助驱动单元和Y方向的导轨可实现分离和精确对接,以此来实现两个硅片台的位置交换。本发明避免了在硅片台交换时气浮轴承跨导向面交换导致的极高的硅片台尺寸一致性的精度要求,以及零部件的加工和装配高精度要求等缺陷,大大简化了系统结构,二是该系统双台交换采用质心驱动,使系统的精度大大提高。
公开/授权文献
- CN101571676A 一种光刻机硅片台双台交换系统 公开/授权日:2009-11-04
IPC分类: