一种光刻机硅片台双台交换系统
摘要:
一种光刻机硅片台双台交换系统,该系统含有运行于曝光工位的硅片台和运行于预处理工位的硅片台,两个硅片台设置在同一基台上,通过气浮轴承悬浮在基台上表面;每个硅片台分别由一条沿Y方向的导轨穿过,导轨的一端与一个主驱动单元连接,两个硅片台可沿导轨在Y方向移动,导轨另一端可与一个X方向单自由度辅助驱动单元对接,并在单自由度辅助驱动单元驱动下可实现硅片台在X方向的移动;单自由度辅助驱动单元和Y方向的导轨可实现分离和精确对接,以此来实现两个硅片台的位置交换。本发明避免了在硅片台交换时气浮轴承跨导向面交换导致的极高的硅片台尺寸一致性的精度要求,以及零部件的加工和装配高精度要求等缺陷,大大简化了系统结构,二是该系统双台交换采用质心驱动,使系统的精度大大提高。
公开/授权文献
0/0