- 专利标题: 在线实时监测辐照场的监测装置及其监测方法
- 专利标题(英): Device and method for monitoring irradiation field on line in real time
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申请号: CN200810105433.8申请日: 2008-04-29
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公开(公告)号: CN101572130B公开(公告)日: 2012-03-21
- 发明人: 唐华平 , 张化一 , 刘晋升 , 梁笑天 , 魏德
- 申请人: 同方威视技术股份有限公司 , 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区双清路同方大厦A座2层
- 专利权人: 同方威视技术股份有限公司,清华大学
- 当前专利权人: 同方威视技术股份有限公司,清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区双清路同方大厦A座2层
- 代理机构: 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 王庆海; 刘宗杰
- 主分类号: G21K5/00
- IPC分类号: G21K5/00
摘要:
本发明涉及在线实时监测辐照场的监测装置及其监测方法。该监测装置用于在线实时监测电子束辐照场,其包括:用于接收边缘部分电子束的辐照场探测装置,该装置被放置在能够接收电子束辐射场边缘部分电子束的位置,而不阻挡正常的电子束扫描范围;与辐照场探测装置相连接的分析装置,用于对从该辐照场探测装置处接收的电子束信号进行分析处理;与分析装置连接以接收分析结果信号的控制装置;该控制装置根据接收到的分析结果信号输出辐照场的分布信息。根据本发明的监测装置,具有结构简单,生产制造成本低,对辐照场的分布进行实时检测的优点,这样可以改善辐照加工工艺,提高加工质量。
公开/授权文献
- CN101572130A 在线实时监测辐照场的监测装置及其监测方法 公开/授权日:2009-11-04