在线实时监测辐照场的监测装置及其监测方法
摘要:
本发明涉及在线实时监测辐照场的监测装置及其监测方法。该监测装置用于在线实时监测电子束辐照场,其包括:用于接收边缘部分电子束的辐照场探测装置,该装置被放置在能够接收电子束辐射场边缘部分电子束的位置,而不阻挡正常的电子束扫描范围;与辐照场探测装置相连接的分析装置,用于对从该辐照场探测装置处接收的电子束信号进行分析处理;与分析装置连接以接收分析结果信号的控制装置;该控制装置根据接收到的分析结果信号输出辐照场的分布信息。根据本发明的监测装置,具有结构简单,生产制造成本低,对辐照场的分布进行实时检测的优点,这样可以改善辐照加工工艺,提高加工质量。
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