等离子体监测方法和等离子体监测装置
摘要:
本发明提供一种即使在低电子密度条件或高压力条件下也可正确测定等离子体中的电子密度的等离子体监测方法。该等离子体电子密度测定装置在测定部(54)中具备矢量式的网络分析器(68)。由该网络分析器(68)测定复数表示的反射系数,取得其虚部的频率特性,并且测量控制部(74)读取复数反射系数的虚部零交叉点的谐振频率,根据谐振频率算出电子密度的测定值。
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