一种适于电源极性反转的PN结隔离方法
摘要:
本发明公开了一种适于电源极性反转的PN结隔离方法。它包括以下步骤:在P型衬底双极工艺中,在P+掩埋层之间开两个N-外延层窗口,在N-外延层上注入N+,从两个注入N+引出两个金属端。本发明采用二极管切换电位的方式为电源极性反转的半导体元件提供了一种低成本的隔离方法,解决了电源极性反转的半导体元件的隔离技术问题。
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