发明公开
CN101604656A 一种适于电源极性反转的PN结隔离方法
无效 - 撤回
- 专利标题: 一种适于电源极性反转的PN结隔离方法
- 专利标题(英): PN junction isolation method suitable for power supply polarity reversal
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申请号: CN200910304815.8申请日: 2009-07-24
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公开(公告)号: CN101604656A公开(公告)日: 2009-12-16
- 发明人: 陈奕星
- 申请人: 湖南麓湖微电子有限公司
- 申请人地址: 湖南省长沙市高新开发区桐榇波西路229号麓谷国际工业园E5栋
- 专利权人: 湖南麓湖微电子有限公司
- 当前专利权人: 湖南麓湖微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 湖南省长沙市高新开发区桐榇波西路229号麓谷国际工业园E5栋
- 代理机构: 长沙市融智专利事务所
- 代理商 颜昌伟
- 主分类号: H01L21/761
- IPC分类号: H01L21/761 ; H01L21/8222 ; H01L21/8238 ; H01L21/8249
摘要:
本发明公开了一种适于电源极性反转的PN结隔离方法。它包括以下步骤:在P型衬底双极工艺中,在P+掩埋层之间开两个N-外延层窗口,在N-外延层上注入N+,从两个注入N+引出两个金属端。本发明采用二极管切换电位的方式为电源极性反转的半导体元件提供了一种低成本的隔离方法,解决了电源极性反转的半导体元件的隔离技术问题。
IPC分类: