薄膜型太阳能电池及其制造方法
摘要:
本发明公开了一种薄膜型太阳能电池及其制造方法,其中,薄膜型太阳能电池的制造方法包括:在衬底上顺序地沉积前电极层和半导体层;通过除去前电极层和半导体层的预定部分形成第一分隔槽;通过除去半导体层的预定部分形成接触部分和第二分隔槽;在第一分隔槽中形成第一绝缘层;以及多个后电极通过插置于其间的第二分隔槽以固定间隔形成,其中,各个后电极通过接触部分与前电极层电连接。与需要三次清洁工艺的现有技术不同,本发明在进行激光划片工艺后只需一次清洁工艺,因而由于简化的制造工艺使产量提高。与现有技术不同,根据本发明,不需要交替地将衬底装入真空沉积设备和激光划片设备,因而设备结构简单并且制造时间减少,由此使产量增加。
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