发明授权
- 专利标题: 薄膜型太阳能电池及其制造方法
- 专利标题(英): Thin film type solar cell and method for manufacturing the same
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申请号: CN200910147805.8申请日: 2009-06-12
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公开(公告)号: CN101604713B公开(公告)日: 2013-05-08
- 发明人: 金宰湖 , 黃喆周
- 申请人: 周星工程股份有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 周星工程股份有限公司
- 当前专利权人: 周星工程股份有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京鸿元知识产权代理有限公司
- 代理商 陈英俊
- 优先权: 10-2008-0055585 2008.06.13 KR
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L31/05
摘要:
本发明公开了一种薄膜型太阳能电池及其制造方法,其中,薄膜型太阳能电池的制造方法包括:在衬底上顺序地沉积前电极层和半导体层;通过除去前电极层和半导体层的预定部分形成第一分隔槽;通过除去半导体层的预定部分形成接触部分和第二分隔槽;在第一分隔槽中形成第一绝缘层;以及多个后电极通过插置于其间的第二分隔槽以固定间隔形成,其中,各个后电极通过接触部分与前电极层电连接。与需要三次清洁工艺的现有技术不同,本发明在进行激光划片工艺后只需一次清洁工艺,因而由于简化的制造工艺使产量提高。与现有技术不同,根据本发明,不需要交替地将衬底装入真空沉积设备和激光划片设备,因而设备结构简单并且制造时间减少,由此使产量增加。
公开/授权文献
- CN101604713A 薄膜型太阳能电池及其制造方法 公开/授权日:2009-12-16