Invention Publication
- Patent Title: 具有多晶硅接触的自对准MOS结构
- Patent Title (English): Self-aligned MOS structure with polysilicon contact
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Application No.: CN200810040290.7Application Date: 2008-07-02
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Publication No.: CN101621030APublication Date: 2010-01-06
- Inventor: 邱慈云
- Applicant: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Applicant Address: 上海市浦东新区张江路18号
- Assignee: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Current Assignee: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
- Current Assignee Address: 上海市浦东新区张江路18号
- Agency: 北京集佳知识产权代理有限公司
- Agent 刘继富; 顾晋伟
- Main IPC: H01L21/8234
- IPC: H01L21/8234 ; H01L21/768 ; H01L27/04 ; H01L23/522

Abstract:
本发明涉及一种用于制造半导体集成电路的方法及其所得到的结构。所述方法包括为半导体衬底提供上覆介电层和形成多晶硅栅极层和上覆盖层。所述栅极层覆盖在所述介电层之上。所述方法还包括使所述多晶硅栅极层图案化,以形成栅极结构和局部互联结构。所述栅极结构和局部互联结构包括在它们之间限定的接触区域。所述栅极结构还包括所述上覆盖层。所述方法包括在所述栅极结构和局部互联结构上形成侧壁隔离物以及去除所述局部互联结构上的侧壁隔离物。所述方法还包括在所述接触区域上形成接触多晶硅并将掺杂剂杂质注入所述接触多晶硅中。所述方法将所述掺杂剂杂质从所述接触多晶硅扩散到所述衬底的接触区域中以形成扩散结区。所述方法选择性地去除覆盖在所述栅极结构上的盖层。所述方法然后形成覆盖在所述栅极结构以及所述接触多晶硅表面上的硅化物层,由此所述侧壁隔离物将所述栅极结构上的硅化物层与所述接触多晶硅上的硅化物层隔离。
Public/Granted literature
- CN101621030B 具有多晶硅接触的自对准MOS结构 Public/Granted day:2011-01-12
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IPC分类: