溶剂热法制备铝掺杂氧化锌透明导电膜的制备方法
摘要:
本发明公开了一种溶剂热法制备铝掺杂氧化锌透明导电膜的制备方法,以锌的可溶性有机盐和无机铝盐为前驱物,采用溶剂热法在基片上沉积出铝掺杂氧化锌透明导电膜。本发明的工艺通过控制反应物前驱溶液浓度、铝离子掺杂量、溶剂热反应温度、溶剂热反应时间、反应釜冷却方式和反应釜填充量,在200℃以下温度可以在基片上沉积出铝掺杂氧化锌透明导电膜,并使得薄膜的可见光透过率达到80%,方块电阻小于760Ω。
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