发明公开
CN101629284A 溶剂热法制备铝掺杂氧化锌透明导电膜的制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 溶剂热法制备铝掺杂氧化锌透明导电膜的制备方法
- 专利标题(英): Method for preparing aluminium-doped zinc oxide transparent conductive film by solvent thermal process
-
申请号: CN200910090248.0申请日: 2009-08-03
-
公开(公告)号: CN101629284A公开(公告)日: 2010-01-20
- 发明人: 谷景华 , 高珊 , 张跃
- 申请人: 北京航空航天大学
- 申请人地址: 北京市海淀区学院路37号
- 专利权人: 北京航空航天大学
- 当前专利权人: 北京航空航天大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区学院路37号
- 代理机构: 北京永创新实专利事务所
- 代理商 周长琪
- 主分类号: C23C18/12
- IPC分类号: C23C18/12
摘要:
本发明公开了一种溶剂热法制备铝掺杂氧化锌透明导电膜的制备方法,以锌的可溶性有机盐和无机铝盐为前驱物,采用溶剂热法在基片上沉积出铝掺杂氧化锌透明导电膜。本发明的工艺通过控制反应物前驱溶液浓度、铝离子掺杂量、溶剂热反应温度、溶剂热反应时间、反应釜冷却方式和反应釜填充量,在200℃以下温度可以在基片上沉积出铝掺杂氧化锌透明导电膜,并使得薄膜的可见光透过率达到80%,方块电阻小于760Ω。
公开/授权文献
- CN101629284B 溶剂热法制备铝掺杂氧化锌透明导电膜的制备方法 公开/授权日:2011-01-26
IPC分类: