一种低损耗混合型表面等离子激元光波导
摘要:
本发明公开了一种具有低传输损耗和较强光场限制能力的混合型表面等离子激元光波导,该波导结构的横截面包括嵌于低折射率介质(2)中的金属层(1)和分别位于其上下两侧的两个高折射率介质区域(3、4)。与金属层紧邻的高折射率介质区域的存在,可显著地缩小该波导结构的光场分布范围,实现对传输光场的二维亚波长约束;同时仍能保持较低的传输损耗。所述光波导结构克服了现有表面等离子激元光波导在光场限制能力和传输损耗之间的矛盾,解决了大尺寸、高集成度表面等离子激元光波导器件中的损耗与干扰的问题,为超高集成度光波导芯片的实现提供可能。
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